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光斑品质分析仪
BeamOn
l 独特技术：高动态范围
l 连续脉冲都可测量
l 宽的波长响应范围，从紫外到红外（190nm-1550nm）
l 友好的软件操作，具有完整的联机帮助程序
l 实时显示光束2D/3D图像，检测光束尺寸和高斯拟合
l 自动验证分析报告
主要参数：
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参数 |
数值 |
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相机类型 |
CCD
1/2" |
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探测响应面积 |
6.47mm
x 4.83mm |
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像素 |
8.6µm
x 8.3µm |
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CCD聚焦位置 |
4.6mm±0.5mm |
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光谱范围 |
BeamOn UV: 190-1100nm
BeamOn VIS: 350-1100nm
BeamOn-IR1310: 350-1310nm
BeamOn-IR1550: 1550nm+/-50nm |
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电源 |
12V,0.9W |
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动态范围 |
≤1011 |
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快门速度 |
1/50s-1/100000s |
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增益 |
6dB-60dB |
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灵敏度 |
0.5nW/cm2@633nm
1.5µW/cm2@1310nm
5µW/cm2@1550nm |
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饱和密度 |
1mW/cm2(无衰减片，VIS/UV模式)
5mW/cm2(无衰减片，IR1550模式) |
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损伤阈值 |
50W/cm2, 1J/cm2( (安装上所有的衰减片) |
BeamOn HR/AFW
l 用高分辨高动态范围12位CCD相机
l 可检测连续和脉冲光束的位置、功率、光强分布
l USB2.0接口，具有完整的联机帮助程序
l 实时显示光束2D/3D图像，检测光束尺寸和高斯拟合
l 通过RS232或者TCP/IP协议与其它电脑数据共享
l 新功能:内置电动滤光轮由软件控制(或ActiveX)进一步加大光学带宽
l ActiveX软件集成在客户的应用程序中
主要参数：
参数
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数值
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相机类型
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CCD 1/2"
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像素
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4.65µm x 4.65µm
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探测器响应面积
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6.47mmX4.83mm |
光谱范围
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350 – 1310nm |
1550nm±50nm |
最大帧速
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15fps at 1392x1040, 30 fps with binning (2X) |
成像分辨率
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1392X1040 |
快门速度
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0.6s-1µs
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增益
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X1 to X23 |
动态范围
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60dB(无衰减片)
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损伤阈值
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50W/cm2(有衰减片)
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灵敏度
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5nW/cm2@633nm, 60µW/mm2@1310nm |
22µW/mm2 |
饱和度
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2mW/cm2 |
10mW/mm2 |
电源
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6V, 4Watts |
µBeam
l 分析微米级大小光束（<0.5um）
l 可测量连续光束和高低重复频率的脉冲光束
l 长的测量距离
l 高分辨率、高灵敏度CCD读出装置
l 宽光谱范围，优越的快速聚焦性能
主要参数：
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数值
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相机类型
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CCD1/4"
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光谱范围
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350–1310nm
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放大倍数
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衰减器
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内置可卸NG10衰减片
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尺寸
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163.5 x83mm
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透镜工作距离
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6.0mm(100x),13mm(50x),33.5mm(10x),20mm(20x)
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最小可测光束大小
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0.5µm（100x)
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最大帧速
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25Hz
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BeamOn LongBow
l 远程测量大小光束
l 连续和脉冲光束均可测量
l 内置用户校准功能
l 自动缩放功能
l 自动聚焦功能
主要参数：
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参数 |
数值 |
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相机类型 |
CCD 1/4" |
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光谱范围 |
350-1310nm |
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缩放比例 |
X25 光学,
X2 数字 |
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信噪比 |
50 dB |
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帧速 |
25Hz |
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最小工作距离 |
320mm WIDE end, 1500mm TELE end |
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电子快门 |
1–1/10000 sec |
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增益 |
0–28 dB |
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衰减片 |
3（片）1/8,（1片ND衰减片1/400可选） |
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温度 |
0℃-50℃ |
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尺寸 |
163.5 x83mm
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电源 |
12V, DC, 1.6W(标准) |
BeamOn2/3
l 实时显示光束2D/3D图像，检测光束尺寸和高斯拟合
l 软件控制电子快门和增益
l 可回放视频和快照
l 通过RS232或者TCP/IP协议与其它电脑数据共享
l 自动验证分析报告
l ActiveX软件集成在客户的应用程序中
主要参数：
参数
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数值
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相机类型
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CCD 2/3"
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像素
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11.6µm x 11.2µm
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探测器响应面积
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8.5mmX6.35mm |
光谱范围
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350 – 1100nm |
信噪比
|
58dB |
帧速率
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25Hz |
快门速度
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1/50s-1/100000s
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增益
|
6.0dB-14.4dB |
动态范围
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60dB(无衰减片)
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损伤阈值
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50W/cm2 1J/cm2(安装上所有的衰减片) |
灵敏度
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40nW/cm²@633nm. |
饱和度
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0.1mW/cm² / 0.1mJ/cm² |
尺寸
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60mm(L)X45mm(W)X40mm(H) |
温度
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-10℃ to
50℃ |
PC接口
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USB 2.0 |
BeamAnalyzer/Touch
l 12
bit A/D
l 同时高分辨率采样所有模式
l 实时检测光束质量、尺寸和高斯拟合
l 实时显示光束2D/3D图像
l 测量光束的中心、椭圆度和功率
l Excel数据存储，RS232或TCP/IP数据传输
l 可保存快照图像
l 自动验证分析报告
l 触摸屏显示
主要参数：
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传感器类型 |
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Si
UV-Si
IR
IRE |
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光谱范围 |
Si
UV-Si
IR
IRE |
350-1100nm
190-1100nm
800-1800nm
1200-2700nm |
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刀片数 |
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3（BA3头）
7（BA7头） |
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光束尺寸范围 |
BA3-Si和BA3-UV
BA7-Si和BA7-UV(椭圆形)
BA7-Si和BA7-UV（圆形）
BA3-IR3和BA3-IR3-E
BA7-IR3和BA7-IR3-E
BA3-IR5
BA7-IR5 |
3µm-5mm
15µm-10mm
15µm-9mm
3µm-3mm
15µm-3mm
3µm-5mm
15µm-5mm |
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光束宽度分辨率 |
>100µm
<100µm |
1µm
0.1µm |
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光束宽度精确度 |
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±2% |
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功率范围 |
Si和UV-Si探头
InGaAs探头 |
10µW-1W(有衰减片)
10µW-5mW(无衰减片) |
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功率精确度 |
Si和UV-Si探头
InGaAs探头 |
±5%
±10% |
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功率分辨率 |
|
0.1µW |
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位置精确度 |
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±15µm |
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位置分辨率 |
|
1µm |
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饱和度 |
Si和UV-Si探头 |
0.1W/cm2(无衰减片)，20W/cm2(NG9) |
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测量速率 |
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5Hz |
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温度 |
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0℃-35℃ |
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PC接口 |
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USB2.0 |
M2 测量仪
l 测量激光束M2值、束腰大小、位置、功率和光强分布
l 优越的软件控制
l 能够显示沿主轴传输的3D光束尺寸图像
性能参数：
参数
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数值
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光谱范围
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Si
InGaAs
UV
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400-1100nm
800-1800nm
190-1100nm
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光束功率范围
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Si
InGaAs
UV
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100µW-1W
100µW-1mW
100µW-1mW
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刀片数量
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7
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光束大小（D）
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15mm(有透镜，)
7mm(无透镜，Si&
UV)
3mm/5mm(无透镜，InGaAs)
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最大发散角
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10mrad(无透镜)
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束腰到透镜距离
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2.0-2.5m
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尺寸
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100x173x415mm
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机械调节
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水平角度：±1.5°
垂直角度：±1.5°
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FocusGage光速发散测量仪
整个系统包括安装在一个扫描束腰附件上的测量探头和一个独立的控制单元（有两个LCD显示操作按钮）。一个外部的VGA显示屏可以和控制单
元连接，给出充分的图像显示。这个单元带一个RS232接口与另一台计算机通讯，以及一个FDD数据存储器。
l 测量激光束发散角、束腰大小、束腰位置、数值孔径
l 测量激光焦点位置、测量
l 波长最小可达190nm，最大可达1800nm
性能参数：
参 数
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数 值
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光谱范围
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Si
InGaAs
UV
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400-1100nm
800-1800nm
190-1100nm
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光束功率范围
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Si
InGaAs
UV
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100µW-1W（自带衰减片）
100µW-1mW（自带衰减片）
100µW-1mW
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光束大小（D）
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9mm(有透镜，Si&
UV)
12.7mm(无透镜，Si&
UV)
3mm/5mm(无透镜，InGaAs)
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分辨率
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≥10µm
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焦深精确度
|
±50µm
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尺寸
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100x173x415mm
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机械调节
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水平角度：±1.5°
垂直角度：±1.5°
|
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